在技術(shù)先進(jìn)的制造業(yè)中，多種工藝氣體已成熟應(yīng)用到生產(chǎn)制造潔凈車(chē)間、研發(fā)實(shí)驗(yàn)室等工況當(dāng)中，例如一個(gè)大規(guī)模集成電路潔凈工廠大約要使用50種不同氣體。本文就特殊氣體系統(tǒng)做一個(gè)簡(jiǎn)單介紹。

一：概念

特氣輸送系統(tǒng)，是指將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過(guò)對(duì)流量和壓力等參數(shù)的控制，通過(guò)管道、無(wú)二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點(diǎn)。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→VMB→用氣點(diǎn)

二：分類(lèi)

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易燃易爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

三：供氣系統(tǒng)的選擇

1. 簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)

簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)，主要針對(duì)4英寸及以下半導(dǎo)體芯片廠、半導(dǎo)體材料的科研機(jī)構(gòu)以及一些單臺(tái)的工藝設(shè)備等。它們的制程簡(jiǎn)單，通常不需要連續(xù)性供氣，對(duì)氣體供應(yīng)系統(tǒng)的投資預(yù)算低。

由于氣體流量小，不經(jīng)常使用，特種氣體氣源多采用普通鋼瓶（<50L）。輸送系統(tǒng)多采用半自動(dòng)氣瓶柜或氣瓶架加簡(jiǎn)單的控制面板；配置繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空，有害性氣體配備緊急切斷閥。惰性氣體瓶架則采用全手動(dòng)系統(tǒng)，有些甚至用單瓶系統(tǒng)。 所有氣體共用一個(gè)氣體房，甚至沒(méi)有氣體房，特氣鋼瓶和輸送系統(tǒng)有時(shí)放在回風(fēng)夾道，或直接放在工藝制造設(shè)備旁邊或隔壁。如果沒(méi)有特別危險(xiǎn)氣體一般共用一個(gè)抽風(fēng)系統(tǒng)。簡(jiǎn)單供氣系統(tǒng)通常存在安全隱患。

 

2. 常規(guī)供氣系統(tǒng)

常規(guī)供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于4-6英寸 大規(guī)模集成電路廠，50MW以下的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)，發(fā)光二極管的芯片工序線(xiàn)以及其它用氣量中等規(guī)模的電子行業(yè)。對(duì)氣體純度控制的要求不苛刻，系統(tǒng)配備在滿(mǎn)足安全的前提下盡量簡(jiǎn)單，節(jié)省投資。

特種氣體采用普通鋼瓶（<50L）供氣。特氣輸送系統(tǒng)采用氣瓶柜。配置全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取?  VMB采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空。惰性氣體多采用半自動(dòng)氣瓶架，繼電器控制，自動(dòng)切換，手動(dòng)吹掃，手動(dòng)放空；VMB主管氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?；支路氣?dòng)閥，氮?dú)獯祾撸婵蛰o助排空。氣體房和抽風(fēng)系統(tǒng)根據(jù)氣體性質(zhì)進(jìn)行分類(lèi)。  

           

3.大宗特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對(duì)大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類(lèi)包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽(yáng)能電池生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類(lèi)包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類(lèi)包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線(xiàn)（氣體種類(lèi)包括HCL）等行業(yè)。它們的投資規(guī)模巨大，采用最先進(jìn)的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對(duì)穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出最嚴(yán)格的要求。這些工廠的特種氣體的供給，除了普通鋼瓶（50L及以下）包裝的特種氣體外，還有多種類(lèi)的特種氣體都普遍采用大包裝容器，由此它們被稱(chēng)為大宗特氣，包括Y-鋼瓶（450L），T-鋼瓶（980L），集裝格（940L），ISO罐（22,500L），魚(yú)雷車(chē)（13,400L）等。

大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（BSGS）采用全自動(dòng)PLC控制器，彩色觸摸屏；氣體面板采用氣動(dòng)閥門(mén)和壓力傳感器，可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)切換，自動(dòng)氮?dú)獯祾?，自?dòng)真空輔助放空；多重安全防護(hù)措施，泄漏偵測(cè)，遠(yuǎn)程緊急切斷；專(zhuān)用氮?dú)獯祾咂鹪吹鹊取Ｌ胤N氣體采用獨(dú)立氣源，多用點(diǎn)采用VMB或VMP分路供應(yīng)，VMB或VMP采用支路氣動(dòng)閥，氮?dú)獯祾?，真空輔助排空等。由于BSGS氣源總量大，多采用獨(dú)立的氣體房，獨(dú)立的抽風(fēng)系統(tǒng)。

四：氣體房的選擇和設(shè)計(jì)

除了簡(jiǎn)單的供氣系統(tǒng)以外，特氣房一般都獨(dú)立于主場(chǎng)房而單獨(dú)建設(shè)，其規(guī)劃時(shí)需考慮建筑物的防火、泄爆、防火防爆間距、危險(xiǎn)物的總量控制等。常規(guī)供氣系統(tǒng)一般也采用多種氣瓶柜共設(shè)在一個(gè)氣體室；而對(duì)于大宗特氣，會(huì)根據(jù)氣體特性和相容性將氣體房分成可燃?xì)怏w房、腐蝕性氣體房、惰性氣體房、硅烷氣體房、毒性氣體房等。氣體房必須有良好的通風(fēng)，氣體房的選擇和設(shè)計(jì)一般由設(shè)計(jì)院完成。 

五：管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

1.材料的選擇

特氣管路系統(tǒng)普遍采用316L不銹鋼電解拋光（EP）管道，閥門(mén)一般采用高純調(diào)壓閥、隔膜閥、高精密過(guò)濾器、（＜0.003微米）、VCR接頭等。接觸氣體的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。對(duì)于某些高腐蝕性的氣體如CL2等，采用經(jīng)過(guò)特殊處理的耐腐蝕強(qiáng)的EP管 。

2.主管路系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

在確定好氣體房和用氣點(diǎn)以后,主管路系統(tǒng)一般遵循管道線(xiàn)路最短,拐彎最少,布置緊湊合理,給人簡(jiǎn)單美觀的感覺(jué)。輸送系統(tǒng)的數(shù)量和管徑的大小一般根據(jù)機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)的多少和流量大小確定，基本都采用小管徑輸送（1/4-3/4）而且多設(shè)計(jì)了備用系統(tǒng)。由于氣體本身的危險(xiǎn)性，許多地方采用把管道鋪設(shè)在電纜橋架里，對(duì)于穿墻或穿過(guò)夾道的地方，周?chē)形ｋU(xiǎn)源和經(jīng)常有危險(xiǎn)作業(yè)的地方，露天的地方管道一般布置在全封閉的橋架里。

對(duì)于低蒸汽壓氣體（WF6，DCS，BCl3，C5F8，ClF3等），需要考慮鋼瓶加熱，氣體面板加熱，管道伴熱等。為了精確控制流量，在氣源端一般會(huì)考慮配置高精度的壓力變送器、電子秤、溫控器等。在機(jī)臺(tái)用氣點(diǎn)也都配置了質(zhì)量流量計(jì)，壓力調(diào)節(jié)閥。對(duì)于劇毒、高反應(yīng)性和自燃?xì)怏w，應(yīng)使用雙套管輸送。同時(shí)管道的設(shè)計(jì)要采用零死區(qū)設(shè)計(jì)，即整個(gè)管道系統(tǒng)從氣柜到VMB、從VMB到用氣點(diǎn)，要點(diǎn)對(duì)點(diǎn)，中間不允許有在氣體置換時(shí)有殘留空氣的死角。因此，整個(gè)管路系統(tǒng)中由VMB完成氣體的分配，中間沒(méi)有三通。最后管道還要有良好的接地。

3輔助系統(tǒng)的設(shè)計(jì)

氣體柜或控制面板在安裝和運(yùn)輸?shù)倪^(guò)程中由于搬運(yùn)和震動(dòng)，閥門(mén)、接頭、過(guò)濾器等的更換、或其他原因、需要對(duì)其重新進(jìn)行高壓氣密性試驗(yàn)和氦檢，氣體的置換也需要用到高壓氮?dú)饣蚝?，所以特氣柜需設(shè)計(jì)接入高壓惰性氣體氦氣或氮?dú)狻Ｒ话氵x擇在特氣房設(shè)置一臺(tái)或多臺(tái)惰性氣體柜